1.燃烧法
VOC光氧净化器催化设备的燃烧法是指将VOC中的碳氧化分解为_氧化碳的处理力法，分为直接燃烧法、蓄热燃烧法和催化燃烧法。
大多数VOC是由碳、氢、氧等构成的化合物直接燃烧法就是利用助燃剂，在650-800℃左右的高温下使VOC燃烧被分解为一氧化碳、水等物质，助燃剂使用煤油、重油、轻油等液体燃料，或者天然气、
液化气等气体燃料直接燃烧法的优点是装置便宜、容易保养，小分VOC种类，其缺点是低浓度的话需要添加助燃剂，且会产生一氧化碳直接燃烧法通常用于涂装、印刷、化学成套设各等行业蓄热燃烧法是利用蓄热体(陶瓷)蓄热燃烧来分解VOC蓄热燃烧法的优点是热效率高(90%-95%)，自然浓度低，其缺点是装置很贵，小能间断运转，需要采取对策处理蓄热材料的网眼堵塞问题蓄热燃烧法通常用于涂装、印刷、化学成套设各等行业催化燃烧法是利用加入催化剂降低氧化分解VOC所需要的温度，加入催化剂后VOC氧化的温度可以降低至200-400度催化燃烧法的优点是可以低温燃烧，氮氧化物的产生量较少，容易保养，其缺点是催化剂很贵，硅、磷、硫磺等受催化剂影响失去活力催化燃烧法通常用于印刷、化学成套设各等行业。
采用低温等离子体分解油雾、废气等污染介质时，等离子体中的高能离子起决定性的作用。废气和恶臭气体经过等离子体电场区，在纳秒级时间范围内流星雨状的高能离子与介质内分子(原理）发生非弹性碰撞，等离子猛烈轰击废气和臭味等污染物分子，产生裂变分解反应，将能量转化成基态分子（原子）的内能，发生激发，离解、电离等一系列过程使污染介质处于活性状态，污染介质在等离子体的作用下，产生高浓度、高强度、高能量的各种活性自由基、高能电子、高能离子等，同时产生大量臭氧、原子氧、生态氧等混合气体，进行一系列复杂的分化裂解和氧化还原反应。（初级电子在电场中获得加速，撞击空气中的氧分子。当能量超过氧分子的电离电位时氧分子迅速离子化。失去电子的氧分子变成正极性氧离子（O2+），而释放的电子又与另一中性氧分子结合变成负极性养离子（O2-),结果是氧离子的两极分化并吸附中性氧分子形成O2+、O2-、O2等氧聚集的离子群，具有极强的氧化性，可在很短的时间内将污染空气中的有害成分分解为无害的产物和水）从净化空气效率考虑，我们选择了电晕电流较高化装置采用脉冲电晕放电低温等离子体与吸附技术相结合的原理对有害气体进行消除，其中低温等离子体主要用来去除、氨、苯、丙、树、等气体及消灭菌，吸附材料主要用于去除及臭等副产物。净化装置由初滤单元低温等离子体发生器及过滤单元，风机等设备和部件组成。
光氧净化设备主要用作于食品、医药、化工、污水、垃圾、塑胶、喷涂、造纸、轮胎等生产环节挥发或渗漏出有害废气的净化及臭味的消除。光化学及光催化氧化法是目前研究较多的一项高级氧化技术。所谓光催化反应，就是在光的作用下进行的化学反应。光化学反应需要分子吸收特定波长的电磁辐射，受激产生分子激发态，然后会发生化学反应生成新的物质，或者变成引发热反应的中间化学产物。光化学反应的活化能来源于光子的能量，在太阳能的利用中光电转化以及光化学转化一直是十分活跃的研究领域。
光催化氧化技术利用光激发氧化将O2、H2O2等氧化剂与光辐射相结合。所用光主要为紫外光，包括uv-H2O2、uv-O2等工艺，可以用于处理污水中CHCl3、CCl4、多氯联苯等难降解物质。另外，在有紫外光的Fenton体系中，紫外光与铁离子之间存在着协同效应，使H2O2分解产生羟基自由基的速率大大加快，促进有机物的氧化去除。
2.非燃烧法
非燃烧法包括生物处理、光催化剂、放电等离子体、膜分离等。
生物处理法是将含有VOC光氧净化器的气体通过微生物填充层，利用微生物的生理过程把VOC转化为简单的无机物，比如一氧化碳、水和其它简单的无机物等，这是一种无公害的有机废气处理力式生物处理法的优点是流程和设各简单，一般小消耗有用原料，运行能耗的费用低，较少形成一次污染物；其缺点是设各体积大，微生物受温度、湿度影响较大生物处理法主要用于处理低浓度的VOC光催化剂法是光催化剂在紫外光的辐射下，产生具有较强氧化能力的空穴，可以分解VOC为一氧化碳和水光催化法的优点是彻底的净化，对绝大部分VOC都能起到作用，在常温下可以实现，小存在饱和问题；其缺点是可能产生一次污染物，比如放电等离子体法是利用高能电子辐射(分解、氧化或还原)化学技术，将VOC的结构破坏，并转化为其他易回收的形式或无害的物质放电等离子体法的优点是分辨率高、节能、常温处理，缺点是有可能产生氮氧化物、有可能生成其他一次生成物膜分离法是采用对VOC光氧催化设备具有选择性渗透的高分子膜，在一定压力下使VOC渗透而被分离的技术，富集了的VOC气体需要通过其它回收系统进行回收处理。
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